在人工智能等產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的帶動(dòng)下，半導(dǎo)體用電子級(jí)超純水的市場(chǎng)規(guī)模呈現(xiàn)快速增長(zhǎng)趨勢(shì)，2022年將達(dá)到40億美元。超純水主要用于化學(xué)試劑制備和清洗步驟，其中清洗步驟主要集中在晶圓生產(chǎn)過程中。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國(guó)大陸轉(zhuǎn)移，國(guó)內(nèi)超純水市場(chǎng)需求持續(xù)攀升。(數(shù)據(jù)來(lái)源于網(wǎng)絡(luò))

　　傳統(tǒng)的超純水制備方法主要包括蒸餾法和離子交換法。蒸餾法設(shè)備要求嚴(yán)格，產(chǎn)量低，能耗高。離子交換法再生失效的離子交換樹脂需要大量的酸堿溶液和大量的清洗水，且勞動(dòng)強(qiáng)度高。早期制藥、化工、發(fā)電等行業(yè)對(duì)純水的水質(zhì)要求不是很高，但隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)純水的水質(zhì)要求也越來(lái)越高了。

　　傳統(tǒng)的方法不適合單獨(dú)生產(chǎn)高純度的超純水。20世紀(jì)60年代以來(lái)，隨著膜技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了微濾、超濾、反滲透和電滲析等新的水處理技術(shù)。目前，反滲透+混床系統(tǒng)已經(jīng)取代了傳統(tǒng)的離子交換系統(tǒng)，但反滲透對(duì)原水中的溶解氣體和一些弱電解質(zhì)等雜質(zhì)的去除效果較差，而且混床再生會(huì)消耗酸堿溶液，產(chǎn)生一定量的廢水。EDI工藝可以連續(xù)再生離子交換樹脂，無(wú)需酸堿溶液，減少環(huán)境污染。設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，高效節(jié)能，勞動(dòng)強(qiáng)度低，水的純度高，因此，EDI超純水設(shè)備受到越來(lái)越多的關(guān)注。

　　在“雙碳”背景下，具有高發(fā)電率和清潔環(huán)保優(yōu)勢(shì)的核電產(chǎn)業(yè)將得到快速發(fā)展，超純水在核電站的需求量很大，未來(lái)超純水產(chǎn)業(yè)有望呈現(xiàn)快速發(fā)展態(tài)勢(shì)。